什么是曝光設(shè)備？
?曝光裝置是在半導(dǎo)體、液晶顯示器等制造現(xiàn)場(chǎng)使用的裝置，通過照射光在基板上描繪電路、像素等圖案。
?
由于它們使用極強(qiáng)的光線并需要精確控制平臺(tái)等，許多產(chǎn)品體積龐大且成本數(shù)十億美元。曝光工藝是半導(dǎo)體和液晶顯示器制造中非常重要的設(shè)備，因?yàn)樗鼪Q定了設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)（ CAD數(shù)據(jù)）的圖案。每家公司都開發(fā)了多種曝光方法并在自己的設(shè)備中使用它們。